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エムメムス(R)
エムメムス(R) 独自のメッキ技術とMEMS技術を融合した、UVLEDなどの高輝度LED向け放熱基板です。
従来の銅貼り基板ではエッチング処理の際、角がダレるという欠点がありました。
「エムメムス®」は半導体フォトリソグラフィ技術と精密メッキ技術を融合させて角ダレのない立体構造を可能にしました。
これにより、電極に高さ・体積が得られ、電極自体に高い放熱性を持たせることが出来ます。
また放熱性に優れるアルミナ基板や窒化アルミ基板には従来メッキが困難でしたが、前処理技術を開発することでセラミックス基板上へのメッキが可能になりました。
「エムメムス®」は、UV LEDなどの高輝度で放熱性が求められる用途に適したメッキ基板です。
セラミックス基板に可能
従来エッチング工法でしか不可能だったアルミナ基板や、より放熱性に優れた窒化アルミ基板などにもメッキできます。
アルミナ基板上へのエムメムス
窒化アルミ基板上へのエムメムス
厚膜構造
メッキならではの厚膜構造(数十〜数百μm)が可能です。
これにより、基板だけでなくメッキ皮膜にも放熱性を持たせることが出来ます。
垂直微細構造
半導体フォトプロセスによりパターン幅数十μm〜の垂直微細メッキが可能です。
エッチング工法では不可能な垂直構造を実現しました。
少量対応可能
基板枚数が数十枚でも対応いたします。
なんなりとお問い合わせください。
LED用高熱伝導実装基板
M-MEMSの例 ・超厚膜&微細構造でお客様のニーズにお応えいたします
M-MEMSでお客様のニーズにお答えいたします