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エムメムス®

エムメムス® タイトル

独自のめっき技術とMEMS技術を融合した新技術で、微細穴やマイクロ流路を安価に数多く作成できます。

エムメムス®の半導体フォトリソグラフィ技術と精密めっき技術 イメージ

エムメムス®では半導体フォトリソグラフィ技術と精密めっき技術を融合させて角ダレのない立体構造を可能にしました。
これにより、数多くの微細穴形状を多量かつ安価に作成することができます。
穴径15㎛、深さ65㎛まで実績があります。(さらなる小径・深さも検討中)

様々な形状が作成可能

様々な形状が作成可能なエムメムス®

丸穴形状だけでなく、機械加工では困難な四角・三角・星形状なども作成可能です。

凹形状だけでなく、凸形状も作成可能なエムメムス®

凹形状だけでなく、凸形状も作成可能です。

めっきを棒状に作成も可能なエムメムス®

めっきを棒状に作成することで流路のように作成することも可能です。